用高精度天平称重法实时监测真空镀膜

摘要：

本文提出了利用微量天平称重的方法实时测量真空镀膜的膜厚.用天平实时测量悬挂在蒸发源上方的取样片的增重情况,就可以得到成膜厚度的信息.同时还可以得到镀膜过程中原子蒸汽密度和原子平均速度 .该方法尤其适用于蒸镀金属薄膜的测量.

关键词： 天平称重法 真空镀膜 膜厚度

作者: 朱洪 姜恩永 李建新 王东 李自卫 范立男

作者单位: 天津大学理学院材料物理研究所 核工业理化工程研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国磁性薄膜与纳米磁学会议

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 235-237

在线出版日期: 2004-05-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）