W衬底层结构对NdFeB薄膜性能的影响

摘要：

本文用磁控溅射的方法制备具有垂直各向异性的Nd22Fe7<,2>B<,6>/W薄膜,并研究W衬底层生成温度及衬底层厚度对NdFeB薄膜性能的影响.实验发现W衬底层有利于控制四方晶系Nd<,2>Fe<,14>B晶粒C轴沿垂直膜面方向生长,并制得具有垂直各向异性的Nd<,22>Fe<,72>B<,6>/W薄膜.最后利用Nd<,22>Fe<,72>B<,6>/W薄膜的H<,c>(θ)/H<,c>(O)随外加磁场与垂直膜面方向间夹角的变化关系,研究了薄膜的反磁化机制.实验表明Nd<,22>Fe<,72>B<,6>/W薄膜的反磁化机制是由一致转动控制的.

关键词： NdFeB薄膜 反磁化机制 磁控溅射法 衬底层结构

作者: 崔艺涛 马云贵 杨正 朱明刚 郭朝晖 李卫

作者单位: 钢铁研究总院功能材料研究所(北京);兰州大学磁性材料研究所(兰州) 兰州大学磁性材料研究所(兰州) 兰州大学磁性材料研究所(兰州);兰州大学应用磁学教育部重点实验室(兰州) 钢铁研究总院功能材料研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国磁性薄膜与纳米磁学会议

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 221-224

在线出版日期: 2004-05-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）