TiCoO<,2>薄膜的制备与铁磁性研究

摘要：

使用一种新的途径制备TiCoO<,2>薄膜.首先利用射频磁控反应溅射制备TiCoN薄膜样品.然后通过低真空氧化制得TiCoO<,2>薄膜样品.利用振动样品磁强计(VSM)测量了样品在常温下的磁特性.结果显示样品在常温下具有明显的铁磁性.其矫顽力300Oe,饱和磁化强度350emu/cm<”3>,饱和场1500Oe.利用X射线光电子能谱(XPS)分析样品的元素成分及Co元素的化合状态.确定有50﹪以上的Co原子掺入到TiO<,2>晶格中.

关键词： TiCoO<,2>薄膜 射频磁控反应溅射法 铁磁性

作者: 宋红强 陈延学 季刚 张云鹏 颜世申 刘宜华 梅良模

作者单位: 山东大学物理与微电子学院;晶体材料国家重点实验室(济南)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国磁性薄膜与纳米磁学会议

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 80-82

在线出版日期: 2004-05-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）