叉指电容式加速度传感器及其信号调理电路的分析与设计
本文提出了一种基于多孔硅牺牲层技术的叉指电容式加速度传感器,并对其结构与制作工艺进行了具体的分析;为了检测微小的差分电容,本文设计了一种差分电容信号调理电路,该电路对微小的电容变化具有很高的灵敏度与线性度,是一种具有很高实用价值的微差分电容测量接口电路.
加速度传感器 微机械 牺牲层 多孔硅 差分电容
周俊 王晓红 姚朋军 刘理天
微电子学研究所,清华大学(中国北京) 信息技术学院,沈阳师范大学(中国沈阳)
国内会议
北京
中文
161-165
2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）