CoPt合金薄膜的结构和磁性能

摘要：

用磁控溅射法在玻璃基片上制备了具有等原子比组成的不同厚度的CoPt薄膜.真空退火后的结果表明,膜厚对CoPt薄膜的微观结构和磁性能有着重要的影响.膜厚较薄时(δ≤15nm)有利于易磁化轴(c轴)垂直于膜面取向,从而具有高的垂直磁各向异性,500℃退火后,15nm厚的CoPt薄膜的垂直矫顽力为4.2kOe,面内矫顽力为2.3kOe.

关键词： 磁控溅射法 CoPt合金 薄膜结构 磁性能

作者: 杨治广 许小红

作者单位: 山西师范大学化学与材料科学学院(山西临汾)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国磁性薄膜与纳米磁学会议

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 209-211

在线出版日期: 2004-05-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）