CoNbZr非晶软磁薄膜晶化动力学研究

摘要：

采用DSC热分析技术,结合XRD、TEM和AFM实验,对磁控溅射制备的Co<,85.5>Nb<,8.9>Zr<,5.6>非晶合金软磁薄膜,进行了变温和等温晶化动力学的研究.结果表明,升温晶化时,薄膜的晶化的表观激活能为99.82KJ/mol;局域激活能随晶化度增加;在等温晶化过程中,平均激活能为88.51KJ/mol,Avrami指数1.17~1.39,晶化行为主要是一维表面晶化,晶核长大受扩散控制的过程.

关键词： 非晶软磁薄膜 磁控溅射 晶化动力学

作者: 蒋向东 张怀武 文歧业 钟智勇 杨争 唐晓莉

作者单位: 电子科技大学微电子与固体电子学院(成都) 四川大学分析测试中心(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国磁性薄膜与纳米磁学会议

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 216-220

在线出版日期: 2004-05-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）