微机械薄膜热膨胀系数的测试结构

摘要：

在微电子机械系统(MEMS)领域,薄膜的热膨胀系数对于微电子器件、MEMS器件,尤其是微热执行器的设计是一个十分重要的参数.本文详细介绍和分析了薄膜热膨胀系数的几种测试结构,对于微机械薄膜热膨胀系数在线测试结构的设计有一定的参考价值.

关键词： 热膨胀系数 薄膜 微电子机械系统 测试结构

作者: 张宇星 黄庆安 李伟华

作者单位: 东南大学MEMS教育部重点实验室(江苏南京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第二届DSP应用技术学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 387-390,393

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）