集成微电路基板清洗新技术与ODS清洗技术

摘要：

文章介绍了集成微电路基板清洗领域的ODS替代清洗技术,着重介绍了十槽式超声波清洗机在高精度的集成电路清洗工艺中的具体应用.

关键词： 集成电路基板 ODS替代清洗技术 超声波清洗

作者: 雷文德

作者单位: 广州合琪环保科技有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004清洗技术国际论坛

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 70-72

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）