磁力显微镜中磁力信号对形貌像干扰的研究
使用磁力显微镜(MFM)对硬磁盘、磁带以及TbFe非晶薄膜等硬磁材料进行检测磁力信号的过程中,由于针尖的磁化方向发生偏转以及仪器参数的不恰当设置,都容易使磁力信号和表面微结构信号间产生干扰.目前国内外文献中很少对干扰的消除与理论原理进行讨论.本工作针对磁力信号对形貌像产生干扰的情况进行了较深入的研究,探讨了日本精工的SPA-300HV型MFM消除干扰的实验方法.并对其原理进行了分析.
磁力显微镜 磁力信号 形貌像干扰
陈琨 王志红
电子科技大学微电子与固体电子学院纳米技术中心(成都)
国内会议
天津
中文
37-40
2004-05-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）