多功能集成差压敏感器件的研究
本文介绍的小型多功能集成差压传感器器件,采用CAD设计技术,专为工业智能差压变送器配套而设计的.利用4”的MEMS制造工艺技术,在面积3.5×4.0mm<”2>的单晶硅基片上,将扩散硅差压、静压、温度三种敏感元件集成为单片芯片、芯片封装在专用壳体中,装配成OEM式多用途新型传感器器件.该敏感器件具有功耗低,灵敏度高,性能稳定重复,双向耐压过载可靠等特点.该器件能够同时测量现场的差压、静压、温度的变化,为数字技术处理差压传感器测量信号的误差补偿,实时提供静压和温度参数信号,提高差压传感器的精度,可作为工业智能差压变送器的敏感部件.
多功能集成差压传感器 差压敏感元件 静压敏感元件 温度敏感元件
唐慧 郑东明 张治国 刘宏伟 陈信琦
沈阳仪器仪表工艺研究所(中国沈阳)
国内会议
北京
中文
816-820
2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）