电磁驱动电容检测力平衡式微机械陀螺的接口电路
电磁驱动电容检测的力平衡微机械陀螺相对于压阻检测等方式的其他形式的微机械陀螺来说,具有高灵敏度及高精度的突出优点,但是其接口电路也比较复杂.这一接口电路从功能上可分为驱动电路和检测电路两个部分:驱动电路的主要功能是使微机械陀螺产生在驱动模态固有频率下的振幅稳定的正弦振动;检测电路的主要功能是拾取陀螺所产生的角速度信号.为了提高陀螺的工作宽带和线性度,检测电路采用了力平衡方式.本文从微机械陀螺接口电路的工作原理、传输函数和稳定性等方面分析了这种形式的微机械陀螺的接口电路.并介绍了接口电路中用到的几种主要器件.
接口电路 微机械陀螺 电磁驱动 电容检测
宋朝辉 贾孟军 李昕欣 马广富 陈志龙
传感技术国家重点实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所(中国上海) 控制科学与工程系,哈尔滨工业大学(中国哈尔滨) 传感技术国家重点实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所(中国上海);控制科学与工程系,哈尔滨工业大学(中国哈尔滨)
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2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）