采用LGS新材料的SAW高温压力微传感器研究

摘要：

利用微扰理论对LGS在双旋转平面内的压力敏感特性进行了分析,以等高线的形式给出了LGS在二维旋转平面内的压力敏感系数.结合温度及机电耦合特性,优化出了适合压力传感器的切向范围,并对欧拉角为(0、150°、22°)的切向基片的压力敏感特性进行了实验研究,验证了谐振频率的变化与外界压力成线性关系,且理论结果吻合较好.最后提出了需要进一步研究的内容.

关键词： LGS 高温压力传感器 压力敏感切向 直接键合 压力传感器

作者: 施文康 李良儿 韩韬 张国伟 吉小军

作者单位: 上海交通大学信息检测与仪器系(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届工业仪表与自动化学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 261-265

在线出版日期: 2004-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）