工业超纯水在平板显示业的应用

摘要：

随着科技的发展、时代的进步,超纯水在平板显示业中的重要作用也日益明显,纯水水质已对最终产品质量、生产成品率及生产成本产生至关重要的影响.本文在大量实践工程技术上,总结了工业超纯水在平板显示行业中的应用及注意事项.

关键词： 平板显示 超纯水 工业用水 纯水水质 纯水处理

作者: 喻遵军

作者单位: 深圳市纯水一号水处理科技有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004中国平板显示学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 238-241

在线出版日期: 2004-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）