YAG激光晶化多晶硅初探
激光晶化是目前制备低温多晶硅(LTPS)的重要手段.本文报道了采用YAG脉冲激光器对硅基薄膜进行晶化制备多晶硅的初步实验结果.其中主要针对不同驱物(如为PECVD法制备的非晶硅或微晶硅)以及对激光能量的利用等问题进行了分析研究.实验发现,晶化需要基本的阈值能量流密度.晶化硅基前驱物材料的结构,是决定此阈值的关键.延迟降温速率可能对激光晶化是一种较为有效的手段.对所得的初步结果进行了讨论.
激光晶化 多晶硅 硅基薄膜 半导体薄膜
刘建平 王海文 李娟 张德坤 赵淑云 吴春亚 熊绍珍 张丽珠
南开大学光电子所;天津市薄膜光电子器件与技术重点实验室(天津) 天津机电职业技术学院(天津)
国内会议
上海
中文
67-69
2004-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）