OLED用ITO导电玻璃技术要求和制造方法

摘要：

OLED用ITO导电玻璃的技术要求有,降低ITO薄膜的微观表面粗糙度、进一步降低ITO的面电阻、要求在ITO之上还要镀金属导电膜、严格控制表面缺陷.相应的制造技术包括,改善表面粗糙度的软抛光方法、离子镀ITO膜技术、DC/RF溅射镀膜方法等;改善面电阻方法包括改善了的镀膜方法、增加金属膜层、采用超低电阻膜层结构等.

关键词： 导电玻璃 溅射镀膜 电阻膜层结构 平板显示器

作者: 金弼 李志贞

作者单位: 南玻集团精细玻璃事业部

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004中国平板显示学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 154-155

在线出版日期: 2004-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）