微电子机械系统中多能量场耦合问题仿真分析

摘要：

在微电子机械系统(MEMS)研究和设计中,微系统数值仿真分析是一个重要研究领域.本文对MEMS中多能量场耦合仿真问题的各种数值分析方法进行了综合评述.分析了该领域目前的研究现状并指出了其今后的发展方向.

关键词： 微电子机械系统 能量场耦合 数值仿真

作者: 高行山 林胜勇

作者单位: 西北工业大学(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国力学学会第六届全国细观力学学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 31-34

在线出版日期: 2001-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）