有害气体的抽除与清洁真空的获得

摘要：

在近几十年来工业上应用的高真空系统,多以油扩散泵为主泵、油封式机械泵的前级泵组成的通用型的高真空系统,并得到了许多工业部门的普遍应用.本文主要介绍了几种工艺条件下使用的干式真空系统对有害气体的抽除和清洁真空的获得方法.

关键词： 真空泵 真空系统 清洁真空

作者: 杨乃恒 巴德纯 王晓冬 于治明

作者单位: 东北大学真空与流体研究中心(沈阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004全国真空冶金与表面工程学术研讨会

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 27-32

在线出版日期: 2004-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）