一维纳米材料的ECR-CVD方法制备

摘要：

本文应用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积方法(ECR-CVD)进行了一维纳米材料的制备.以Fe304纳米粒子为催化剂,采用不同的气源,在多孔硅基底上制备出了碳纳米管、掺硼碳纳米管以及异质结构的纳米管.利用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和X射线光电子谱(XPS)对样品的形貌、结构及组份进行表征.

关键词： 纳米材料 纳米管 化学气相沉积 X射线光电子谱

作者: 王志 巴德纯 蔺增 曹培江

作者单位: 东北大学真空与流体工程研究中心(沈阳);沈阳航空工业学院(沈阳) 东北大学真空与流体工程研究中心(沈阳) 中国科学院物理研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004全国真空冶金与表面工程学术研讨会

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 175-178

在线出版日期: 2004-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）