钼基表面化学气相沉积钨涂层

摘要：

研究了CVD钨涂层的表面形貌和结构、断面性能、涂层的抗热震性能及高温扩散性能.结果显示:钨涂层与基体有2微米左右的扩散层,属于冶金结合且钼在钨中的扩散速度更高:涂层在室温-1400℃~室温进行20次后涂层不脱落、界面没有明显变化,涂层结合力好;涂层界面上的杂质元素氧、碳等影响涂层的结合性能.

关键词： 钨涂层 化学气相沉积 表面形貌 抗热震性能 高温扩散性能

作者: 杜继红 李争显 刘高建 周慧 黄春良

作者单位: 西北有色金属研究院(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004全国真空冶金与表面工程学术研讨会

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 110-112

在线出版日期: 2004-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）