降低真空系统漏气率的措施初探

摘要：

本文简要阐述了降低真空系统漏气率的一些措施,包括真空系统设计中的结构设计、密封形式的选择、密封材质的选用等,提出了一种新型的静密封结构,从而提高了真空系统的密封性能.

关键词： 漏气率 密封结构 真空系统

作者: 李留臣

作者单位: 西安理工大学晶体生长设备研究所(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004全国真空冶金与表面工程学术研讨会

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 123-125

在线出版日期: 2004-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）