测量材料放气率的超高真空系统

摘要：

为了研究微小容器的真空保持技术,需要测定可伐合金的小物件在常温下放气率,东北大学机械学院真空与流体工程中心与兰州物理研究所合作开展研究,在兰州物理研究所建造了一台超高真空系统.本文介绍了真空系统的构成和操作方法.

关键词： 真空系统 放气率 容器测量

作者: 张志军 刘春姐 徐成海 王立 秦小刚 刘苏明

作者单位: 东北大学机械工程与自动化学院(沈阳) 兰州物理研究所(兰州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004全国真空冶金与表面工程学术研讨会

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 189-191

在线出版日期: 2004-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）