薄膜热阻微传感器技术
随着科学技术的不断进步,人们对温度信息获取的手段提出了越来越高的要求,传统的温度传感器已经逐渐不能满足工业生产的使用要求.在工业生产中,人们对温度传感器超小型化的要求越来越迫切,而薄膜传感器的出现能满足这一要求.薄膜温度传感器由于其优异的性能,在工业生产中越来越得到广泛应用.本文介绍了薄膜温度传感器的特点、种类、应用,着重介绍了薄膜热敏电阻传感器测温机理、膜系、影响其测温精度的主要因素及薄膜热敏电阻主要制备工艺、设备等,并探讨了薄膜热敏电阻的标定方法,最后论述了热敏电阻传感功能薄膜的国内外发展现状及其目前制备热敏电阻传感功能薄膜需要解决的关键技术问题.
温度传感器 功能薄膜 热敏电阻
张以忱 巴德纯 马胜歌
东北大学真空与流体工程研究中心(沈阳) 深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心
国内会议
沈阳
中文
179-183
2004-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）