DWG文件转换成GERBER文件时圆弧产生变形的一种方法

摘要：

微电子工业的掩膜制版中常有Autocad设计图形DWG文件翻译GERBER文件后,以激光绘菲林制版.该工艺精度高,因而使线段拟合园弧是增生的形变也格外明显,对此,本文提出了一种新的高效的解决方法.

关键词： CAD设计 激光光绘 图形似合 掩膜制版

作者: 徐野

作者单位: 深圳天马微电脑电子股份有限公司(广东深圳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国自动化学会中南六省(区)第十九届自动化学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 254-256

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）