TaN薄膜电阻功率承受性工艺分析

摘要：

混合集成工艺中薄膜电阻的应用越来越广泛.本文从工艺实验角度分析了TaN薄膜电阻的热性能.并指出热处理是改善TaN薄膜电阻的热稳定性的重要手段.

关键词： TaN 薄膜电阻 热处理

作者: 秦跃利 何文杰 石磊 谢飞

作者单位: 中国西南电子设备研究所(四川成都市)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002”全国第九届微波集成电路与移动通信学术会议

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 225-227

在线出版日期: 2002-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）