RFMEMS串联开关的瞬态响应分析

摘要：

本文报道了RFMEMS开关的瞬态响应实验过程以及结果,采用示波器对开关的波形进行了时域记录.实验数据显示,开关在达到域值电压之前,由于电容泄露,开关的电压波形略有下降.导通瞬间,开关的接触电阻变化很大.最后,对开关的瞬态响应进行了理论分析.

关键词： RFMEMS 串联开关 瞬态响应

作者: 顾洪明 高葆新 梁春广

作者单位: 清华大学电子工程系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002”全国第九届微波集成电路与移动通信学术会议

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 172-175

在线出版日期: 2002-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）