直接键合的石英晶体谐振器

摘要：

直接键合也叫熔接结合、片结合或者是两个清洁面的原子结合,有时也指没有胶水的结合.文章通过实验进行阐释,重点研究直接键合的接触面对谐振器性能的影响.

关键词： 石英晶体谐振器 直接键合谐振器

作者: 刘海明 曹东英

作者单位: 北京晨晶电子有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 压电晶体2003年年会

会议地点: 无锡

会议语种:中文

页码: 50-53

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）