纳米隧道结的SPM加工方法研究

摘要：

利用扫描探针显微镜诱导氧化加工金属纳米氧化线,可以构成金属-绝缘体-金属纳米级隧道结,进而可以在其基础上加工半导体纳米器件.由大气湿度决定的金属膜表面水吸附层的厚度、诱导偏置电压、加工速度等对控制阳极诱导氧化加工的结果起重要作用,试验研究了上述加工参数对在绝缘体表面加工金属氧化线结果的影响,得到了相对湿度30％、扫描速度8μm/s等比较理想的加工参数和加工结果.

关键词： 隧道结 SPM 诱导氧化加工

作者: 刘庆纲 匡登峰 李源 郭维廉 张世林 胡小唐

作者单位: 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室(天津) 天津大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年中国机械工程学会年会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 245-250

在线出版日期: 2003-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）