脉冲激光微加工技术在MEMS中的应用

摘要：

阐述了脉冲激光微加工技术及其在微机电系统(MEMS)加工中的应用.脉冲激光微加工技术能够制作出三维微型结构并具有微米/亚微米加工精度,且适用于多种材料,与传统的微细加工技术如光刻、刻蚀、体硅和面硅加工技术等相比具有其独到之处.阐述了基于激光烧蚀的脉冲激光直接微加工技术,激光—LIGA技术、激光辅助沉积与刻蚀技术、以及EMS的激光辅助操控及装配技术.

关键词： 脉冲激光 微机电系统 激光烧蚀 激光—LIGA技术

作者: 李艳宁 唐洁 胡小唐 张国雄

作者单位: 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年中国机械工程学会年会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 238-244

在线出版日期: 2003-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）