基于机器微视觉的MEMS平面微运动测试技术

摘要：

随着微电子机械系统(MEMS)研究的深入和产业化的需求,检测技术在MEMS中的重要性越来越大.基于机器微视觉原理组建MEMS动态测试系统,在此系统之上,采用模糊图像合成技术对MEMS器件的平面微运动特性进行测量,并给出了测量结果.

关键词： MEMS 机器微视觉 模糊图像 动态测试

作者: 金翠云 靳世久 冯亚林 彭柯 郝一龙

作者单位: 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室(天津) 天津大学 北京大学微电子学研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年中国机械工程学会年会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 124-128

在线出版日期: 2003-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）