基于等光强面的飞秒激光三维微加工分辨力研究
双光子微细加工系统的分辨能力直接影响三维器件成型的精度和质量.根据自由基类光聚合材料双光子加工分辨力的理论分析,提出等光强面的概念,在此基础上讨论了激发光强与系统加工分辨力之间的关系.通过不同光强条件下双光子三维加工固化单元的实验,验证了等光强面和系统分辨力之间的对应关系,并分析了出现微小差异的原因.在一定实验条件下,可以根据上述理论模型估计系统可实现的加工分辨,及优化加工工艺参数.最后给出部分微器件的成型结果.
等光强面 飞秒激光 双光子激发 三维微细加工 固化单元
蒋中伟 郭锐 袁大军 夏安东 黄文浩
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系(合肥) 中国科学院
国内会议
深圳
中文
232-237
2003-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）