光镊技术在驱动微机械器件方面的应用

摘要：

简要介绍了光镊的工作原理及近年来光镊在操纵、驱动双光子光聚合加工出的微机械器件方面的主要应用,对几种典型光驱动方式进行了比较,对微机械转子模型进行了理论计算,分析了试验参数对驱动效率的影响.并对光聚合微机械器件的光驱动发展前景做出分析.

关键词： 光镊 光学微加工 微机械 光驱动

作者: 祝安定 刘宇翔 汪飞 夏安东 黄文浩

作者单位: 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系(合肥) 中国科学院分子反应动力学国家重点实验室(北京) 中国科技大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年中国机械工程学会年会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 117-123

在线出版日期: 2003-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）