功能陶瓷(玻璃)与金属场致扩散连接技术在MEMS中的应用

摘要：

阐述了陶瓷、玻璃等功能非金属材料与金属及金属基复合材料场致扩散连接的原理、应用及其发展前景.认为这种低温、低压、快速的连接方法特别适用于功能陶瓷材料与金属的连接,适用于微型仪表及机械的制造,且具有较大的发展空间.

关键词： 功能陶瓷 玻璃 场致扩散连接 MEMS

作者: 孟庆森 陈少平

作者单位: 太原理工大学材料科学与工程学(太原)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年中国机械工程学会年会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 226-231

在线出版日期: 2003-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）