复杂结构的飞秒激光双光子微细加工

摘要：

利用强聚焦飞秒激光可以诱导材料发生显著的双光子激发,进而可以实现复杂三维结构的微纳米加工.本文阐述了双光子激发的原理和飞秒激光三维加工的技术特点.详细介绍了自行研制的飞秒双光子微细加工系统的组成和性能.在优化工艺参数的基础上进行了三维微结构的加工实验,实现了可动的三维微系统的一次成型.

关键词： 双光子激发 光聚合 飞秒激光器 三维微器件

作者: 袁大军 蒋中伟 郭锐 黄文浩 夏安东 褚家如

作者单位: 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系(合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年中国机械工程学会年会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 221-225

在线出版日期: 2003-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）