并行直写系统制作微光学器件的理论研究
提出了一种新的基于强度调制型空间光调制器的并行激光直写系统,介绍了该系统的总体结构及工作原理.建立了并行光学子系统的数学模型,分析了直写系统性能同空间光调制器、傅里叶变换透镜、空间滤波器、投影物镜之间的关系,并编制了相应的设计软件.通过计算机仿真研究发现,该系统可实现阳小特征尺寸为1μm的微光学器件的激光直写,所具有的并行特性使其一次的写入面积达266.24μm×199.68μm,同传统的激光直写系统相比,可大大提高写入速度,缩短生产周期,降低生产成本.
微光学器件 并行直写 空间光调制器
颜树华 李圣怡 吴学忠 杨键
国防科技大学机电工程与自动化学院(长沙)
国内会议
深圳
中文
135-140
2003-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）