表面纳米计量技术进展
表面纳米计量技术在微米和纳米工程中具有十分重要的作用.扫描探针显微镜(SPMs)由于可以获得纳米甚至原子级分辨率的三维形貌特征,故在计量领域已被广泛使用并有巨大的潜力.在过去的二十几年中,已发展出各种理论和技术来改善SPM精度和稳定性,以便满足日益整长的表面计量需求.在这篇综述论文中,我们阐述了在这一领域的主要研究成果,如表面建模和评价参数,高分辨和高时间稳定性测量,SPM图像解释和表面重建,SPM误差,标定和纳米定位技术等.论文还对今后的发展趋势作了展望.
纳米计量 扫描探针显微镜(SPMs)
黄文浩 陈宇航 党学明
中国科学技术大学精密机械与仪器系(合肥)
国内会议
深圳
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29-30
2003-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）