微波等离子体化学法合成TiN纳米粉体材料研究

摘要：

利用TiCl<,4>(蒸汽)+N<,2>+H<,2>气相反应体系,采用微波等离子体加强气相化学反应法制备出了TiN纳米粉体材料.利用XRD、TEM、BET以及激光粒度分析等研究分析了粉体的物相、形貌、比表面积、粒径等性质.结果表明用微波等离子体化学法,在微波输出功率为4KW,常压条件下可获得外观为黑色的TiN纳米粉体材料,其平均粒径在20-40nm之间,比表面积在30-60m<”2>/g之间.

关键词： 微波等离子体 氮化钛 纳米粉体材料

作者: 黄生乔 马兵 荣金龙

作者单位: 中国科学院过程工程研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002年纳微粉体制备与技术应用研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 74-77

在线出版日期: 2002-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）