LIGA技术、准LIGA微加工技术及其应用

摘要：

LIGA技术是微机电系统(MEMS)的一种重要的微加工技术,介绍了LIGA、准LIGA技术的基本工艺、特点,以及在光学和光通讯、生命科学和医学、化学、微机械等领域中的应用.

关键词： LIGA技术 准LIGA技术 微加工技术

作者: 陈迪 蔡炳初

作者单位: 上海交通大学微纳米科学技术研究院(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年中国机械工程学会年会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 192-197

在线出版日期: 2003-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）