无移动部件微泵的设计、制造及基于微PIV技术的流动测量

摘要：

基于简化微泵加工难度、延长寿命及特殊管道流体特性原理,设计了一种无移动部件微泵.通过数值计算对设计微泵进行优化.用特殊材PDMS及微机械加工工艺制造出微泵.用微PIV粒子成像技术测量了微泵流场特性及流量.可实现在工作频率0-2000Hz下,微泵流量为0.01-0.1μL/s.

关键词： 微泵 微PIV技术 PDMS 无移动部件微泵

作者: 王飞 王健 何枫

作者单位: 清华大学工程力学系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国实验流体力学学术会议

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 167-172

在线出版日期: 2004-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）