一种CMOS多层金属螺旋电感宽频带等效电路模型

摘要：

本文提出了一种基于CMOS工艺多层金属螺旋电感宽频带等效电路模型.对于多层金属螺旋电感,传统基于频变参量的等效电路模型已不再适用,而本模型引入RL枝节和互感来表征层间金属趋肤效应和邻近效应,用并联RC枝节来表征同层金属和不同层间金属在衬底的耦合效应.此模型以0.35μm2P4M硅工艺制造的电感验证,测量结果与模型仿真结果在宽频带均具有良好的一致性.

关键词： CMOS射频电路 多层金属螺旋电感 等效电路模型

作者: 闫金星 孙玲玲 文进才 胡江

作者单位: 杭州电子科技大学微电子CAD研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004全国第十届微波集成电路与移动通信学术会议

会议地点: 云南昆明

会议语种:中文

页码: 237-240

在线出版日期: 2004-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）