Parylene三防涂层材料的应用进展

摘要：

介绍了Parylene三防膜形成机理,以及在微波器件、微机械系统、生物医学、磁性材料等方面的应用;指出了在使用过程中存在的一些问题.

关键词： Parylene 微波 微电子机械系统 三防涂层材料

作者: 徐榕青 高能武 秦跃利

作者单位: 西南电子设备研究所(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004全国第十届微波集成电路与移动通信学术会议

会议地点: 云南昆明

会议语种:中文

页码: 332-335

在线出版日期: 2004-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）