四方相(La,Sr)(Al,Ta)O<,3>晶体的提拉法生长与环境扫描电子显微形貌研究

摘要：

(La,Sr)(Al,Ta)O<,3>(LSAT)晶体是近年来出现的一种新型氧化物钙钛矿功能薄膜衬底材料,它的优点是与高温超导体、GaN等薄膜材料具有良好的晶格、热膨胀匹配性能,以及在晶体生长、薄膜制备及器件使用过程中,该材料不发生结构性相变.本文报道了化学组成为(L<,0.27>,Sr<,0.73>)(Al<,0.65>,Ta<,0.35>)O<,3>的四方相LSAT单晶的提拉法生长,并应用环境扫描电子显微镜成像技术研究了该晶体的表面形貌.

关键词： 提拉法 四方相LSAT晶体 晶体生长 晶体形貌

作者: 肖敬忠 殷绍唐 邵曼君 徐家跃

作者单位: 中国科学院上海硅酸盐研究所(上海市) 中国科学院安徽光学精密机械研究所(合肥市) 中国科学院化工冶金研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海先进无机材料研究与应用论坛

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 148-149

在线出版日期: 2003-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）