声表面波器件用压电晶体的生长研究

摘要：

声表面波(SAW)器件主要是利用Rayleigh波在固体材料表面传播而设计的一类电子元器件,随着移动通讯产业的迅速发展,SAW器件不仅有向高频、低损耗、小型化方向发展的趋势,而且要求不断降低成本.这就意味着对SAW器件用压电单晶基片的要求越来越高.目前SAW器件用压电单晶材料主要有水晶、铌酸锂、钽酸锂、四硼酸锂等.本文报道了我们在声表面波器件用压电晶体方面的最新研究成果.

关键词： 声表面波器件 压电晶体 晶体生长

作者: 徐家跃 范世(马岂) 周娟 夏宗仁

作者单位: 中国科学院上海硅酸盐研究所(上海) 中电科技德清华莹电子有限公司(浙江德清)

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海先进无机材料研究与应用论坛

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 120-121

在线出版日期: 2003-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）