微米/纳米技术
微米/纳米技术是指微米级到纳米级的材料、设计、制造、测量、控制和应用技术.其研究途径有由底至上的方法(bottom-up),和由上至底的方法(up-bottom)的两种.本文重点阐述微米/纳米技术的基本概念、内容和发展,这是一个很宽广的新技术.文中还着重介绍了微型机电系统,探针显微技术和微米/纳米技术的军事应用.这项新兴技术实在重要,关系到国家科技发展、经济和国防建设的未来,已受到各国决策部门的重视,被列入各国高新技术发展规划.
微米/纳米技术 纳米材料 微机电系统 探针显微技术 微细加工艺
尤政
清华大学微米纳米技术研究中心
国内会议
北京
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99-113
2002-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）