真空镀膜加热炉温最优分布

摘要：

文章主要论述了对柱形真空镀膜加热炉加热模型的建立,通过数学解析的方法,得到真空镀膜加热炉中周向加热区加热温度最优分布的方法.

关键词： 真空镀膜 最优分布 加热炉温

作者: 郄殿福 杨国巍 刘锋

作者单位: 北京卫星环境工程研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 航天第十信息网2003年度学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 178-181

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）