低温冷等离子体的诊断

摘要：

等离子体诊断是研究等离子体的空间反应过程、基片表面反应过程、优化刻蚀和沉积工艺的重要问题。该文综述了低温冷等离子体的诊断技术，结合研究人员自己的研究工作，着重分析了为适应研究的深入和应用的发展而在工作气体、放电机和澈励模式等方面不断改进和更新的等离子体诊断过程中，所碰到的各种困难及其解决办法和尚待解决的问题。

关键词： 低温冷等离子体 诊断技术 荷电粒子 中性基团

作者: 林揆训 石旺舟 王洪 林璇英 姚若河 余楚迎

作者单位: 大学材料科学技术研究所 大学物理系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 1043～1046

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）