关键词： 低温Si GeSi生长 应力释放机制
作者: 彭长四 黄绮 周均铭
作者单位: 中国科学院物理研究所
会议类型: 国内会议
会议名称: 第五届全国分子束外延学术会议
会议地点: 昆明
会议语种:中文
页码: 130-130
在线出版日期: 1999-06-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）