关键词： 低能离子束技术 纳米碳管 离子源
作者: 廖梅勇 刘志凯 柴春
作者单位: 中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室
会议类型: 国内会议
会议名称: 第一届全国纳米技术与应用学术会议
会议地点: 厦门
会议语种:中文
页码: 70～73
在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）