关键词： i线光刻物镜 光学薄膜
作者: 郭永洪 尚佳江 张云洞
作者单位: 科学院光电技术研究所(成都)
会议类型: 国内会议
会议名称: 中国光学学会光学制造技术专业委员会首届学术会议
会议地点: 成都
会议语种:中文
页码: 96～96
在线出版日期: 1998-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）