利用等离子体聚合的方法，大面积制钥有机硅薄膜

摘要：

利用等离子体聚合方法制备有机硅薄膜，所制备的薄膜具有低的表面自由能，耐磨和抗腐蚀。

关键词： 等离子体聚合方法制备方法 制备 有机硅薄膜 耐磨 抗腐蚀

作者: 王东宝 陈思光

作者单位: 印刷学院应用物理研究室

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国核学会核聚变与等离子体应用学术讨论会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 313～317

在线出版日期: 1998-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）