等离子体浸没离子注入(PIII)技术在现代材料表面改性中的应用及发展

摘要：

该文综述了80年代发展起来的一种新型的用于材料表面改性的离子注入新技术－等离子体浸没离子注入(PIII)，待处理的材料直接浸泡在等离子体中进行处理。该技术保留了常规束线离子注入(CBII)技术的主要特点，还具有许多独特的优点。将系统介绍该技术在现代材料表面改性中的各方面应用及发展。

关键词： 等离子体浸没 离子注入 材料表面改性

作者: 赵青 耿漫

作者单位: 西南物理研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: ”99全国荷电粒子源粒子束学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 209～214

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）